Chúng tôi xin giới thiệu hệ thống đo chiều cao (đo trục Z)１．Cấu trúc hệ thốngLắp đặt bệ trục Z và bộ điều khiển động cơ trên kính hiển vi. |
|
 |
 |
|
Sử dụng phần mềm vẽ 3D với hệ thống này và phần mềm tổng hợp tiêu điểm. |
|
２．Phương thức hoạt động |
|
| (1) Tổng hợp tiêu điểm | |
 |
|
| (2) Tạo hình ảnh 3D | |
| Hình ảnh 3D được tạo ra bằng cách kết hợp các bức ảnh được tổng hợp bằng kính hiển vi và thông tin vị trí của động cơ. | |
 |
|
 |
 |
|
Khi nhìn qua kính hiển vi, không thể nhìn thấy các bề mặt thẳng đứng hay gần như thẳng đứng, do đó độ ổn định của bề mặt tường có thể bị ảnh hưởng đôi chút, nhưng các phép đo chiều cao có thể được thực hiện mà không gặp vấn đề gì.
Nếu bề mặt tường nghiêng, có thể tạo ra hình ảnh 3D tương đối rõ ràng. Ví dụ: Tạo hình ảnh 3D của một vết lõm trên bìa cứng. |
|
 |
|
| Từ đây, có thể xác định bất kỳ kích thước và hình dạng mặt cắt nào. Đường màu vàng bên dưới là đường được vẽ tùy ý.
|
|
 |
|
 |
|
| Vì nó không phải là thiết bị đo lường nên không có độ chính xác. Bước tối thiểu của bảng trục Z (0,5μ trong trường hợp này) là độ phân giải. Tùy thuộc vào cách bạn sử dụng nó, bạn có thể đạt được mức độ chính xác nhất định. |
|
