So sánh ở mức 1400x (X5) gần độ phóng đại cao nhất của ống kính NSH
■Đặc trưng của Lens
Khi sử dụng lens có độ phóng đại cực cao (trên 1000x), sự khác biệt về hiệu suất của lens sẽ trở nên rõ ràng ở gần độ phóng đại tối đa.
・Mờ cạnh (quang sai)
・Mờ màu (quang sai màu)
Tùy thuộc vào đối tượng, độ mờ cạnh (quang sai) và độ mờ màu (quang sai màu) có thể có ảnh hưởng đáng kể đến hình thức.
→Nếu giảm mức này đến mức tối đa thì giá lens sẽ tăng lên đáng kể.
→Mặt khác, tùy theo đối tượng mà chi phí có thể giảm đi đáng kể.
■Ví dụ có ít ảnh hưởng
Khi kiểm tra các mẫu trên tấm bán dẫn silicon, các cạnh có thể hơi mờ nhưng vẫn có thể quan sát được đầy đủ. (Ảnh bên dưới)
Lens được sử dụng: Lens NSH (lens đa dụng)
Lens sử dụng:Lens USH (lens có độ phân giải cao)
■Ví dụ có nhiều ảnh hưởng
Hiện tượng mờ cạnh và quang sai màu cũng xuất hiện. Mặc dù có thể xác định được sự hiện diện hay vắng mặt của vật thể lạ nhưng không thể quan sát chi tiết.
Lens được sử dụng: Lens NSH (lens đa dụng)
Lens sử dụng: Lens USH (lens có độ phân giải cao)
